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Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration Senn Tobias
Libristo-Code: 09187233
Verlag Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG, Januar 2015
Micro- and Nanostructures significantly influence the physical and chemical properties of surfaces.... Vollständige Beschreibung
? points 168 b
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Micro- and Nanostructures significantly influence the physical and chemical properties of surfaces. Therefore, such structures can be used to functionalize surfaces and adjust the surface properties to the specific requirements of a certain application. A remaining challenge is the integration of functional structures into micro devices to achieve e.g. patterning in 3D, 3D surface structures and sidewall patterning. This work is focused on the development of processes to achieve both, the accurate replication of micro and nanostructures as well as the integration of functional surface structures into micro devices.

Informationen zum Buch

Vollständiger Name Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration
Autor Senn Tobias
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2015
Anzahl der Seiten 180
EAN 9783838150284
ISBN 3838150287
Libristo-Code 09187233
Verlag Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG
Gewicht 272
Abmessungen 152 x 229 x 10

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
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