MEMS Microscanner - vom Bauelement zur Applikation

Dieses Buch beschreibt die Entwickulung sowie den Aufbau eines miniaturisierten Demonstrationsmodul, bestehend aus dem Mikroscannerspiegel des Fraunhofer IPMS in Dresden, einem kompakten Gehäuse und integrierter Ansteuerung. Das Modul erlaubt es verschiedene Scannerspiegeltypen mit unterschiedlichen Designs und Resonanzfrequenzen, je nach Bestückung, anzusteuern. Die Mikrokontrollergesteuerte Hardware ermöglicht dem Benutzer die Konfiguration der Ansteuerparameter mittels PC. Die optimierte Aufbau- und Verbindungstechnik für den Scannerspiegel ist in der Lage thermisch induzierte Spannungen auf das Bauelement zu minimieren. Somit kann der Betrieb in einem weiten Temperaturbereich sichergestellt werden, was die Grundlage für den Einsatz in Bereichen mit hohen Zuverlässigkeitsanforderungen darstellt. Zusätzlich wurde ein Basismodul mit integrierter USB-Schnittstelle und DC-DC Wandler entwickelt. Das Basismodul bietet eine Kontaktierungsmöglichkeit und ist in der Lage die Spannungsversorgung über den USB-Bus, ohne externes Netzteil, zu realisieren. Des Weiteren bietet die USB-Schnittstelle eine komfortable Plattform zur PC-Kommunikation für das Scannermodul.