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Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering

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Buch Broschur
Buch Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering De Almeida Mori Thiago Jose
Libristo-Code: 09206455
Verlag Novas Edicoes Academicas, Januar 2015
Sensores baseados em magnetorresistęncia anisotrópica săo promissores para medidas de posiçăo tanto... Vollständige Beschreibung
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Sensores baseados em magnetorresistęncia anisotrópica săo promissores para medidas de posiçăo tanto angulares quanto lineares. Estes dispositivos normalmente possuem a estrutura Ta/NiFe/Ta com a espessura da camada de NiFe sendo da ordem de 10 nm. Neste trabalho, propomos verificar se é possível aumentar a variaçăo percentual da resistęncia e a sensibilidade, para estruturas com boa estabilidade térmica, simplesmente acrescentando uma etapa de oxidaçăo após o crescimento de cada camada. Estudamos a influęncia dos parâmetros de deposiçăo nas propriedades estruturais e magnéticas das amostras e otimizamos o crescimento de filmes finos de NiFe pela técnica de "magnetron sputtering". Verificamos a influęncia do tratamento térmico nas propriedades estruturais de nanoestruturas do tipo Ta/NiFe/Ta submetidas, ou năo, ŕ oxidaçăo das interfaces. Observamos que a nanocamada de óxido de tântalo pode desempenhar o papel esperado, todavia, a qualidade cristalina das camadas de NiFe gera valores quantitativos de magnetorresistęncia menores que os encontrados na literatura.

Informationen zum Buch

Vollständiger Name Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering
Sprache Portugiesisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2015
Anzahl der Seiten 92
EAN 9783639746327
ISBN 3639746325
Libristo-Code 09206455
Gewicht 145
Abmessungen 152 x 229 x 6
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