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Characterization of Stress in Gan-On-Sapphire Microelectromechanical Systems Structures Using Micro-Raman Spectroscopy

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Characterization of Stress in Gan-On-Sapphire Microelectromechanical Systems Structures Using Micro-Raman Spectroscopy Francisco E Parada
Libristo-Code: 08247026
Verlag Biblioscholar, November 2012
Micro-Raman ( Raman) spectroscopy is an e cient, non-destructive techniquewidely used to determine t... Vollständige Beschreibung
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Micro-Raman ( Raman) spectroscopy is an e cient, non-destructive techniquewidely used to determine the quality of semiconductor materials and microelectrome-chanical systems. This work characterizes the stress distribution in wurtzite gal-lium nitride grown on c-plane sapphire substrates by molecular beam epitaxy. Thiswide bandgap semiconductor material is being considered by the Air Force ResearchLaboratory for the fabrication of shock-hardened MEMS accelerometers.

Informationen zum Buch

Vollständiger Name Characterization of Stress in Gan-On-Sapphire Microelectromechanical Systems Structures Using Micro-Raman Spectroscopy
Autor Francisco E Parada
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2012
Anzahl der Seiten 100
EAN 9781288368518
ISBN 9781288368518
Libristo-Code 08247026
Verlag Biblioscholar
Gewicht 195
Abmessungen 189 x 246 x 5

Kategorie

Gesellschaft und Sozialwissenschaften > Pädagogik
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