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La combinaison de la technologie des plasmas froids avec les méthodes de micro et nanofabrication ouvre de nouvelles perspectives pour l'élaboration de nouveaux microsystčmes microfluidiques dédiés ŕ l'analyse biologique, médicale et environnementale. L'industrialisation des BioMEMS passera trčs probablement par la réalisation de la quasi- totalité des étapes de fabrication par une suite de procédés plasmas froids automatisés,principalement ŕ pression atmosphérique. Au-delŕ des résultats expérimentaux et des développements concernant les BioMEMS, les plasmas froids et la spectroscopie THz, ce livre tente d'apporter un éclairage sur les orientations futures et les enjeux d'avenir pour les trois domaines sus-cités. Cet éclairage devrait permettre d'opérer des changements et d'élaborer des choix stratégiques dčs maintenant, afin de rester compétitif au cours des dix prochaines années et pouvoir ainsi prétendre ŕ une petite part du grand marché des nouvelles technologies.